简介： 本发明提供了一种用于处理包含至少一种氯硅烷的液体的方法，所述方法包含汽化所述液体，通过在洗涤室内与碱性介质接触来处理经汽化的液体，以获得pH为9至13的洗涤液，并随后在废水处理装置中对从洗涤室中移出的洗涤液进行处理，其中，添加酸以将pH设定为6-9，并通过离心从所述洗涤液中分离出固体。