简介： 本发明涉及用来产生和循环氟的设备和方法,申请人认识到氟分离器单独使用或与等离子体发生器结合,能在用于薄膜加工的地点生产足够量的氟。氟分离器可以是冷凝器,膜分离装置,是固体电解质的氟离子导体或前述的组合形式。在某些实施方式中,含氟的反应产物通过氟分离器。在其他实施方式中,分离的氟单独或与其他含氟原料结合通入等离子体发生器。氟分离器将氟循环,并从体系中除去废产物。