简介： 发明提供一种生产氧化亚硅的方法和装置。本发明的方法主要是将含硅物质如/氧化硅、硅单质、含硅气体(液体)、不完全氧化的硅特别是金刚线硅切割废浆分离出的干燥成固体硅粉，通过进一步氧化(包括不完全氧化)、还原或添加二氧化硅达到接近生成氧化亚硅的理想配比，然后通过在有利于氧化亚硅溢出的条件下如高形成氧化亚硅气体，再将气体凝结成棒状、板状或颗粒状或粉状氧化亚硅。本申请一个实施例通过控制硅颗粒(Si)表面的氧化层(SiO₂)来制备氧化亚硅前躯体，这可以是硅的氧化，也可以是过渡氧化的硅氧化合物的还原，可选择地，本申请的另一实施例中，利用含硅气体的不完全氧化直接生产氧化亚硅粉体。