简介： 本发明公开一种多晶硅生产系统中的排残装置，包括：排残管路，包括主管路，主管路上设有废液入口和废液出口。排残管路的主管路上设置有排残加压泵、换热器以及过滤单元，排残加压泵用于将废液从废液入口吸入排残管路，换热器位于排残加压泵的下游。过滤单元包括第一过滤器和第二过滤器，第一过滤器位于废液入口和排残加压泵之间，第二过滤器位于换热器与废液出口之间。主管路的一段为U型管道，U型管道设置于换热器与废液出口之间，U型管道的入口和出口处于第一水平面，U型管道的底部处于第二水平面，第一水平面高于第二水平面，第二过滤器设置于U型管道的底部。本排残装置能够有效地过滤废液中的固体杂质，以避免排残管路堵塞。