简介： 本实用新型是一种挥发性有机气体蓄热燃烧处理系统,包括:一入流废气预先加热单元、捕集网与重力沉降集尘处理单元与多管旋风集尘处理单元。其中,将制程机台所排放的VOCS废气,以制程机台风管衔接单元输入废气预先加热单元,将废气预先加热,使得废气中的有机物质形成胶状型态与无机物质(硅化合物)氧化为二氧化硅固体型态,经捕集网与重力沉降集尘处理单元截除胶状物质与大颗粒固体物质,再经多管旋风集尘处理单元截除较小颗粒固体物质,并经排放风管衔接单元排放至后段VOCS再生燃烧处理系统(RTO)进行VOCS处理,以达到保护RTO内部蜂巢式蓄热燃烧处理系统的目的。