简介： 一种气固分离系统，至少包含旋流捕捉装置及负压废气处理装置，旋流捕捉装置具有连通之气体出入腔及旋流分离腔，气体出入腔具有气体导入管连通制程废气源以及气体导出管连通负压废气处理装置。其中，制程废气源所提供之制程废气系经由气体导入管导入气体出入腔中并产生气旋，藉以从制程废气中分离出部分固体颗粒，并且使制程废气经由气体导出管传输至负压废气处理装置，藉以进一步从制程废气中分离出其余固体颗粒。