简介： 一种废酸液循环使用的工艺，将无法达到半导体工业要求的一废酸液经过以下新工艺产生符合半导体工业需求的高纯度硫酸，供半导体工业使用，步骤包括：将该废酸液导入一分解炉中，产生SO2气体；接着将SO2气体通过一含有一催化剂的转换塔，使SO2气体转换成SO3气体；接着将SO3气体移至一吸收塔中与硫酸及水混合，产生一发烟硫酸，再将该发烟硫酸通过薄膜蒸馏法，产生高纯度且无金属的SO3气体，再加入一惰性气体，接着将稀释的SO3气体与高纯度稀硫酸混合，并过滤除去其固体杂质，即得一半导体级硫酸。