简介： 本发明涉及一种回收金刚石线锯切割硅片废料浆中多晶硅的方法。主要包括以下步骤：将废料浆进行固液分离；在固体物中加入混合酸，反应10～12小时后脱酸，清洗至中性；以纯水造浆后用旋流器分离出大部分金刚石，压滤后得到含量为99%的硅料，再将其分散在重液中，离心分离后用纯水反复清洗；将清洗后的料浆通过大孔离子交换树脂装置去除离子，干燥得到99.99%的硅粉；硅粉压制成块后在多晶硅铸锭炉中铸锭，切除杂质，得到纯度为99.9999%的硅锭。本发明不同于传统多晶硅制备及回收技术，工艺简单、成本低廉，易于工业化生产。