简介： 本发明提供了一种处理三氯氢硅合成过程产生的废弃硅粉的方法，包括以下步骤：(1)溶剂清洗：取废弃硅粉，加入有机溶剂进行清洗，离心分离，分别收集离心溶液和沉淀物；(2)去离子水洗涤：用去离子水洗涤沉淀物，干燥，筛分，制得硅粉混合物；(3)酸浸：取步骤(2)中制得的硅粉混合物，加入酸液进行浸泡，离心分离固液，取固体进行去离子水洗涤，干燥，即得再生硅粉。本发明能够处理含有油污和难溶性无机盐的废弃硅粉，将其回收利用制成高纯度的再生硅粉，并重新用作三氯氢硅合成过程的原料，达到了资源回收再利用程度的最大化，具有巨大的经济效益和社会效益。