硅片切割废弃硅浆料回收制备多孔碳化硅的方法
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硅片切割废弃硅浆料回收制备多孔碳化硅的方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及一种硅片切割废弃硅浆料回收制备多孔碳化硅的方法,其方法如下:(1)废弃硅浆料固液分离,分离得固相和液相;(2)固相与pH值为0.1~2.0无机酸水溶液混合,酸处理后固液分离,分离得固体和液体;(3)固体通入具有含氯物质的惰性气体充分接触,反应即得到多孔碳化硅;采用本发明所述的方法,工艺流程和生产周期短、回收率高达98.5%,获得的多孔碳化硅具有较高的表面积和孔容,可作为载体应用于合成氨、对羟基苯甲醛加氢、腈类化合物加氢、烷烃脱氢和芳烃氧化等领域,从而减小资源浪费和环境污染,提高副产品价值。
本发明涉及一种硅片切割废弃硅浆料回收制备多孔碳化硅的方法,其方法如下:(1)废弃硅浆料固液分离,分离得固相和液相;(2)固相与pH值为0.1~2.0无机酸水溶液混合,酸处理后固液分离,分离得固体和液体;(3)固体通入具有含氯物质的惰性气体充分接触,反应即得到多孔碳化硅;采用本发明所述的方法,工艺流程和生产周期短、回收率高达98.5%,获得的多孔碳化硅具有较高的表面积和孔容,可作为载体应用于合成氨、对羟基苯甲醛加氢、腈类化合物加氢、烷烃脱氢和芳烃氧化等领域,从而减小资源浪费和环境污染,提高副产品价值。
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