简介： 本发明公开了一种的废弃氮化硅回收提纯的方法，得到的高纯氮化硅可用于石英坩埚涂层、耐火材料等。本发明的具体内容为：以废弃石英坩埚内表面的氮化硅涂层为氮化硅原料，含有少量的二氧化硅与单质硅及微量的金属等杂质；氮化硅原料经球磨粉碎后，采用高梯度磁选去除金属杂质，反浮选去除二氧化硅，高温氮化单质硅成氮化硅，得到高纯氮化硅。本发明的方法实现了废弃石英坩埚内表面氮化硅涂层的高纯回收利用，不仅节约了资源，还解决了固体废弃物的污染问题。