简介： 本发明涉及一种工业清洗废水的零排放处理工艺，属于水处理技术领域。为了解决在对硅片表面去除硅片表面的污染物和自身氧化物的过程中所产生的大量废水无较好的处理方法的问题，本发明公开了一种对清洗废液的处理方法，本方法一方面能够有效地回收其中的硅粉等固体，另一方面，能够有效地对清洗液中的有效成分进行回收利用，同时，也能实现整个清洗液的零排放的效果。