以硅片切割废料为原料采用隧道窑生产碳化硅的方法
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以硅片切割废料为原料采用隧道窑生产碳化硅的方法
来源:北方有色网
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简介:
本发明涉及一种以硅片切割废料为原料,采用隧道窑烧结制备碳化硅的方法,属于固体废弃物处理与材料制备领域。其特征在于:利用切割废料采用隧道窑加热、碳化焙烧的方法制备碳化硅。废料经处理干燥后与碳粉均匀混合;压制成型,经隧道窑焙烧后出炉空冷;最终获得产品碳化硅含量达到90%‑99%以上。
本发明涉及一种以硅片切割废料为原料,采用隧道窑烧结制备
碳化硅
的方法,属于固体废弃物处理与材料制备领域。其特征在于:利用切割废料采用隧道窑加热、碳化焙烧的方法制备碳化硅。废料经处理干燥后与碳粉均匀混合;压制成型,经隧道窑焙烧后出炉空冷;最终获得产品碳化硅含量达到90%‑99%以上。
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