简介： 本申请涉及光伏技术领域，具体而言，涉及一种废气处理装置以及气相沉积设备。废气处理装置包括壳体，壳体沿第一方向具有相对的第一端和第二端，壳体具有内腔；内腔包括依次连通的第一导气腔、第二导气腔以及第三导气腔；第二导气腔沿第一方向的相对两端具有上游口和下游口，第一导气腔通过上游口与第二导气腔连通，第三导气腔通过下游口与第二导气腔连通；第一端设置有与第三导气腔连通的出气口；壳体设置有与第一导气腔连通的进气口，进气口与第二端之间的距离大于零；以及过滤元件，过滤元件设置于第一导气腔、第二导气腔以及第三导气腔中的至少一个的内部。本申请的废气处理装置能够有效减少废气中含有的固体颗粒，避免堵塞排气泵。