简介： 本申请涉及工业废水处理和资源回收利用技术领域，具体公开了一种集成电路行业含氟废液资源化利用的方法，包括：测定含氟废液中SiF62‑、F‑和SO42‑的浓度；向含氟废液中加入氢氧化钠的水溶液进行一次中和反应，得一次处理废液和氟硅酸钠；向一次处理废液中加入氢氧化钠进行二次中和反应，得二次处理废液和氟化钠；二次处理废液经过蒸发浓缩析出含有氟化钠的沉淀物，得含有氟化钠的沉淀物和三次处理废液；向三次处理废液中加入硝酸钙，得固体废料和四次处理废液；四次处理废液经过结晶得五次处理废液和硝酸钠。本申请将含氟废液的有效成分转化为可回收利用资源，解决含氟废液对环境的污染问题，且处理成本低，资源化产品价值高。