简介： 本发明的研磨废浆中碳化硅的回收方法，包括以下步骤：(1)加入水将研磨废浆稀释；(2)分离研磨废桨中的固体及液体，该固体包括硅粉颗粒及碳化硅颗粒；(3)移除硅粉颗粒和液体，保留碳化硅颗粒；(4)将该碳化硅颗粒加入至碱性溶液中浸泡；以及(5)加入酸性溶液去除残留的碱性溶液得到纯化后的碳化硅。本发明可有效回收研磨废浆中的碳化硅，从而将其循环利用，防止环境污染。