简介： 本发明涉及一种从硅片切削废液中回收碳化硅和聚乙二醇切削液的方法,其特征在于包括以下步骤:废切削液经常温下搅拌后,分离得固体和液体;固体加入纯水搅拌,打碎,加入碱液进行反应,再进入离心分离装置,得到碳化硅液流;加入酸液进行反应,再进入离心分离装置,得到干净的碳化硅液流。经过清洗后,进入烘干机,烘干,风力分级,筛选后包装。固液分离后的液体部分,加入脱色剂和助滤剂,进入机械分离,分离出的液体中再次加入脱色剂和助滤剂,进行机械分离,经过离子交换系统过滤脱去盐分后,经四效蒸发系统脱去水分,即得到聚乙二醇切削液;本发明避免了硅片切削废液直接排放对环境造成的污染,同时还有效降低了硅片切割时的生产成本。