简介： 一种分离、回收和重新使用废弃的在从硅锭上切硅晶片过程中所用的浆料中的各成分的方法,在该方法中,降低废浆料的粘度,把浆料的润滑液成分与固体分离并收集,所收集的润滑液成分适合于在新浆料的制备过程中重新使用,而没有必要进行任何额外的分离步骤。另外,可以收集所分离的固体,并进一步分离成未失效的磨料颗粒成分和废产物部分,未失效的磨料颗粒成分适合于在新浆料的制备过程中重新使用,废产物含有硅颗粒和废磨料颗粒。