简介： 本发明公开了一种去除超高纯正硅酸乙酯钢瓶中固体颗粒的装置。与现有技术相比，本发明采用双回路过滤，可同时处理两个钢瓶，提高了钢瓶的处理效率，以反复过滤取代大量高纯水清洗，不产生废液，也无需再对钢瓶进行除水处理，减少了钢瓶的处理时间且用量少，装置结构设计合理，操作简单，可以严格控制金属杂质含量在可接受范围之内，同时还可进一步设置有尾气吸附柱，解决了尾气排放环境污染的问题。