简介： 本实用新型是一种晶硅片切割刃料的中水回用系统。本实用新型的旨在解决现有技术中水处理过程中臭氧尾气难以处理对人体、设备以及大气造成危害的问题，以及中水处理不彻底、水体中COD残留较高、电导率较高难以满足回用生产使用要求的问题。本实用新型包括沿管道依次流经的砂滤罐、臭氧接触池、活性炭罐、反渗透过滤器和EDI过滤器，所述砂滤罐、臭氧接触池、活性炭罐、反渗透过滤器、EDI过滤器连接有与其相配套的泵，在所述臭氧接触池的顶部还安装有收集罐和与该收集罐相连接的臭氧处理器。本实用新型的有益效果在于：将晶硅片切割刃料行业排放的废水进行深度处理，并且将臭氧尾气进行收集和无害化处理，中水水体具有低COD和低电导率的特点，完全满足中水回用后生产使用要求。