简介： 本申请提供一种离子束清洗设备，包括：离子室，用于提供真空环境；阴极离子源，用于提供电子，与离子室连通，阳极装置，设置于离子室内，阳极装置与阴极离子源构成电场区域；治具组件，设置于离子室内并位于电场区域中，用于承载工件，治具组件包括连接件、第一磁铁和第二磁铁，第一磁铁和第二磁铁相对设置且均套设于连接件，以形成磁场区域，工件套设于连接件并位于第一磁铁和第二磁铁之间，且设置于磁场区域内，连接件与一外部电源的负极电连接，用于牵引电场区域内的正离子至磁场区域内的工件的表面，以清洗工件。该离子束清洗设备，代替传统的化学去膜层方案，避免化学废液的产生及排放，降低废水处理成本，节省成本，同时保护环境。