简介： 本发明公开了一种提高工艺稳定性和水质的超纯水的制备工艺，包括1级反渗透系统中电动比例阀和泵均由PLC系统控制；PLC系统监控UF超滤系统中超滤的出水SDI值和产水压差，当SDI升高到一定值，进行反冲洗，当产水压差达到一定值进行化学清洗；监控进入MB再生混床的原水的Ph值，调节进水Ph值；监控TOC的进出口电阻值，动态调节抛光树脂罐体数量；监控系统的水温温差变化小于5℃；本发明提供的超纯水工艺可以提高超纯水系统的产水稳定性、减少工艺废水的排放，提高系统的产水率，此外智能超纯水工艺使超纯水系统更加完善，满足半导体行业对超纯水系统更稳定，更可靠，水质更严苛的要求。