简介： 本发明公开一种工件清洗方法。该方法包括：将工作气体通入所述等离子体发生器内，并将等离子体发生器内的气体抽出，使所述等离子体发生器内的气压在预设范围内；启动电源，使留在等离子体发生器内的工作气体放电，产生等离子体对所述待清洗的工件进行清洗；预设时间后，向等离子体发生器内通入空气，使等离子体发生器内部恢复常压。本发明提供的工件清洗方法，能够避免产生废水，减少环境污染。