简介： 本发明关于一种氢氧化四甲基铵的回收系统与方法，本发明的设备系统以及该流程主要是提供一种较为简化的设置与流程，可以将氢氧化四甲基铵(TMAH)与该光阻剂分离，且以较为精简的设备成本与流程提升氢氧化四甲基铵的纯度，且进一步降低排放出去的废水对于环境的污染。