简介： 一种微蚀刻液的再生循环装置，包括与微蚀刻生产线连通的蚀刻废液槽以及，用于输送再生蚀刻液至微蚀刻生产线的再生调配槽；所述蚀刻废液槽与电解槽连通，所述电解槽与所述再生调配槽连通。该微蚀刻液的再生循环装置采用直接电解的生产工艺，将微蚀刻废液直接加入到电解槽中进行电解，将废液中的铜离子分离出来，经过电沉积后形成高纯电解铜板；降低铜离子浓度的电解液经调整参数后返回微蚀刻生产线使用，实现微蚀刻废液的循环再生。该设备为全自动封闭及环保型系统，无废水、废气及其他废物排放。