简介： 本发明提供有机硅类废气处理装置及方法，所述装置包括含有高浓度有机硅气体的废气进气口、氮气进气口、饱和蒸汽进气口、制冷系统成套设备、吸附装置、冷凝器、气液分离器、两相分离器、物料回收罐；吸附装置、冷凝器、气液分离器、两相分离器和物料回收罐依次连通；所述两相分离器还与废水去污水系统相连；所述冷凝器还与冷却水回水系统相连，并外接冷却水来水制冷装置；氮气进气口和饱和蒸汽进气口与所述吸附装置相连；有机废气进气口与所述制冷系统成套设备相连。本发明提供的装置和方法与传统有机硅类废气的处理工艺相比，可回收物料且不存在粉尘等二次污染风险，更清洁、更安全。