简介： 本实用新型公开了一种超纯水生产设备，其技术方案要点是包括依次经管路连通的原水箱、第一增压泵、预处理系统、高压泵、二级RO系统、RO水箱、EDI装置、抛光混床和超纯水箱，所述预处理系统包括依次连通的多介质过滤器和活性炭过滤器，所述二级RO系统为反渗透装置，所述反渗透装置与原水箱之间连通有能回收利用清洗后废水的在线清洗装置，所述在线清洗装置包括清洗机构和过滤机构，所述清洗机构的出水端与反渗透装置连通，所述反渗透装置与过滤机构连通，所述过滤机构与原水箱连通，所述清洗机构的进水端与RO水箱连通。本实用新型能重复利用在线清洗后废水。