简介： 公开了处理包含唑类的CMP废水的方法。该方法包括提供具有第一唑浓度的废水；将废水引入到废水处理系统的入口，该废水处理系统被构造和布置成产生自由基并且将自由基引入到废水中；以及激活废水处理系统，以产生自由基并且将自由基引入到废水中，所述自由基的量足以降低废水中的唑浓度并且产生具有小于第一唑浓度的第二唑浓度的经处理的水。公开了通过提供水处理系统来促进包含唑类的CMP废水的处理的方法，该水处理系统被构造和布置成产生自由基并且将自由基引入到废水中。