简介： 本发明涉及废水处理技术领域，尤其涉及一种深度除氟处理工艺及回用系统。包括以下步骤；1)将含氟废水进行化学混凝沉淀，在含氟废水收集槽中处理;2)沉淀后的废水使用废水泵泵入ACF吸附塔；3）进行活性炭吸附和袋式过滤，在袋式过滤器中处理；4)废水按顺序送入SAC树脂塔、WBA树脂塔和SBA树脂塔；5）使用终端过滤器再次进行过滤；6)送入成品水箱，进入地下水池，回用于纯水设备。本发明针对半导体行业产生的含氟废水，采用沉淀处理工艺处+袋式过滤器+三级树脂柱+终端过滤箱毒处理部分含氟废水并回用，再生废水和其余含氟废水经两级沉淀处理工艺处理后排放。