简介： 本实用新型揭示了一种半导体有机清洗设备的供水系统，该供水系统的组成包括用于回收清洗废水的加热水箱，与加热水箱排放管相连的清洗泵，以及从清洗泵连至工艺腔的出水管路，其中加热水箱中设有与其中贮水直接接触的电磁加热系统，且加热水箱中设有测量范围高于60℃的水温采集装置。通过自动阶梯式的电磁加热保持水质，并且该加热水箱还一个多套系统共用。应用本实用新型的技术方案，可以在满足半导体清洗所用超纯水要求下，省却传统系统的多个过滤器及电阻率测量装置，从而节省了可观的加工成本，大大增加了设备正常运行的时间。