简介:
本发明涉及一种含砷石英管的资源化处理方法,其包括如下步骤:S1、强酸浸泡;S2、混酸清洗;S3、自来水冲洗;S4、废水处理。本发明含砷石英管的资源化处理方法工艺成本低、过程容易控制、设备要求低、实用性强,适用于半导体行业砷化镓生产过程产生的表面含砷石英管的处理,可实现含砷石英管的现场无害化处置和石英管、砷的资源化利用。
本发明涉及一种含砷石英管的资源化处理方法,其包括如下步骤:S1、强酸浸泡;S2、混酸清洗;S3、自来水冲洗;S4、废水处理。本发明含砷石英管的资源化处理方法工艺成本低、过程容易控制、设备要求低、实用性强,适用于半导体行业砷化镓生产过程产生的表面含砷石英管的处理,可实现含砷石英管的现场无害化处置和石英管、砷的资源化利用。