简介： 本实用新型属于剥离液生产设备领域，特别涉及一种多重过滤装置，包括剥离液装置、第一球阀、第二球阀、第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置、第四过滤装置、废水缓存罐、液位控制阀、第一回流泵、第二回流泵和超纯水装置，通过设置多个过滤装置，且相互相连接，有利于对剥离液进行多重过滤工序，通过设置第一球阀和第二球阀，有利于控制剥离液进液的状态；通过设置废水缓存装置，有利于回收过滤出的废水，避免污染环境；通过设置超纯水装置，有利于清洗装置。