简介： 本发明提出了一种BOE废液在线再生的方法，包括：BOE废液与氨或碱反应；再经过双极膜电渗析膜组处理；浓缩并精制为超纯氨水；将氢氟酸稀液蒸馏提浓后，与超纯浓硫酸混合，得到氟化氢气体和稀硫酸；稀硫酸用电渗析分离为超纯稀硫酸和废液，再经过加热浓缩为超纯浓硫酸和废水，超纯浓硫酸在本系统回用，废液和废水去污水处理站；氟化氢气体提纯，得到超纯氢氟酸溶液；与超纯氨水按照比例配制为BOE原液，加入表面活性剂后，回到半导体产线。本发明在线再生BOE废液，真正实现了变废为宝，循环经济，绿色环保的价值取向，适合工业化推广应用。