简介： 本发明提出了一种BOE废液制备氟化氢的方法及装置，其中方法包括：BOE废液与碱反应，生成氟化盐溶液和氨水；汽提蒸出氨气；所述氟化盐溶液经过双极膜电渗析分解为氢氟酸稀液和稀碱液；所述稀碱液加热浓缩为浓碱液和废水，所述浓碱液回用；所述氢氟酸稀液加热蒸馏浓缩为浓氢氟酸和废水；所述氢氟酸浓液与浓硫酸混合，得到氟化氢气体和稀硫酸；所述稀硫酸加热浓缩为浓硫酸和废水，所述浓硫酸回用。本发明以芯片蚀刻BOE废液为原料，经过一系列处理后得到氟化氢产品，该过程中碱液、浓硫酸都进行了循环利用，整个反应过程实现了闭环，真正实现了变废为宝，循环经济，绿色环保的价值取向，适合工业化推广应用。