简介： 本发明公开了一种氯硅烷废气处理方法，属于氯硅烷废气处理技术领域，包括向一级淋洗塔及淋洗水池内通入氮气排出空气；向净水池中放入清水；调制好药剂，备用；向淋洗水池中放入石灰乳碱液；依次开启气动阀、淋洗塔喷淋泵及石灰乳加药泵后，再开启进废气阀，使废气淋洗后，经水封罐排至火炬焚烧系统；淋洗废水排至中和池，再经提升泵提升至废水净化器，净化器出水自流至净水池，循环利用；净化器底部污泥定时排至污泥池，污泥经浓缩干化处理。本发明能够有效吸收工业生产过程中产生的氯硅烷废气中的有害气体，防止废气污染大气。