简介： 本实用新型提供了一种LED行业芯片生产废水回用装置，所述装置包括第一水箱、第一水泵、第一保安过滤器、高级氧化反应器、陶瓷膜过滤器、第二水箱、第二保安过滤器、超滤膜组件、反渗透组件、第三水箱、EDI脱盐模块和第四水箱。所述装置通过污染物源头减量以及部分浓水回流技术，增大了装置的入流量，提高了回用水的产水率，同时增大了膜表面的流速，进而延缓了膜表面杂质的沉积速度，从而减轻了膜面污染，延长了膜的使用寿命，降低了投资及运行成本。本装置生产的超纯水满足GB/T?11446.1-1997中I级电子级超纯水标准。