简介： 本发明 提供了一种处理后的 水可用作超纯水生产 装置原水，而无需添加 各种化学物质的水处 理装置。该装置包括一 个接收碱水或酸水的 第一水池，一个对来自 第一水池的废水进行 固-液分离的第二水池，一个装有离子交换树脂和曝气管的离 子交换塔，一个沉淀离子交换树脂的沉淀池，一个将离子交换树 脂从沉淀池输送的第一水池的空气提升泵，一个将离子交换树 脂从第二水池返回到离子交换塔到返回空气提升泵。离子交换 树脂与处理水中的氟离子在离子交换塔中进行离子交换，并在 第一水池中用酸性废水对其进行再生。