简介： 本发明公开了一种晶元研磨废水的回用处理工艺，包括如下步骤：将晶元研磨废水排入收集槽；收集槽内的液体经调节池进入pH调整池进行处理；pH调整池处理后的液体进入混合反应池进行处理；混合反应池处理后的液体进入絮凝反应池进行处理；絮凝反应池处理后的液体进入沉淀池进行处理；沉淀池处理后的液体经UF给水箱进入砂滤器进行处理；砂滤器处理后的液体进入UF装置进行处理；UF装置处理后的液体进入处理水箱待回用。本发明可对晶元研磨废水进行有效处理，处理后水质满足生产回用需求，可实现零排放，全回收。