简介： 本发明为一种半导体研磨废水处理装置及方法，包括废水收集池、废水处理罐、压滤机和滤饼回收装置，该半导体研磨废水处理方法，废水收集池内的废水经过废水处理罐上的搅拌装置搅拌均匀，充分反应，反应产生的气体经过气体过滤装置过滤，器体过滤装置方便对废气进行异味吸附，杀菌消毒，反应后的废水进入压滤机内进行压滤，方便将可回收物质压成滤饼方便回收，经过取样检测器检测，压滤机内液体检测合格从第二出料管排入清水池，压滤机内液体检测不合格从第一出料管返回废水收集池进行二次废水处理，滤饼经过滤饼回收装置回收，方便运输。