简介： 本实用新型公开了一种工业用超纯水供应系统，包括超纯水发生装置、冷却装置和储水桶，所述冷却装置的进水口与市政供水管连通，所述冷却装置的冷却水出口与所述超纯水发生装置的进水口连通，所述超纯水发生装置的废水出口与储水桶连通，所述储水桶用以向所述冷却装置补加冷却循环用水。采用冷却装置向所述超纯水发生装置提供冷却水，再由超纯水发生装置制备冷却的超纯水，在制备超纯水的过程中产生的废水用来作为冷却装置的循环用水。