简介： 本发明公开了一种用来清洁含溶解状态的金属离子,过氧化氢,和高含量固体粒子,如浓度大于约50毫克/升的微粒状固体粒子废水的新型方法和设备。碳吸收柱除去含高含量固体粒子的废水进料中的过氧化氢。化学沉淀单元从溶液中除去金属离子。该方法和设备从集成电路微芯片的化学机械抛光(CMP)处理产生的高含量固体粒子的副产物抛光浆中除去金属离子如铜离子,并生成环保清洁的排放废水。