简介： 一种新颖及改进的废水处理系统,适用于处理CMP制程的废水与BG废水及/或BW废水。一收集第一废水的第一暂存槽,一收集第二废水的第二暂存槽,一收集槽,一析出第一、第二废水中粒子的反应槽,以及至少一沉淀所述第一、第二废水中粒子的沉降槽,其中,所述收集槽与所述第一、第二暂存槽和所述反应槽做流体性连接,所述反应槽与所述沉淀槽做流体性连接。一放流槽接收来自沉降槽净化后的废水,此净化后的废水可用输送泵送至一储存槽,例如一回收水(RCW)槽,用于例如废气洗涤装置的清洁制程。