简介： 本实用新型公开了一种废水循环回用为工业超纯水的处理装置,包括:预处理装置、前置活性炭吸附装置、一级反渗透装置、后置活性炭吸附装置、二级反渗透装置和电去离子装置,预处理装置前连接有废水箱、加药装置和原水泵,预处理装置和一级反渗透装置之间连接有阻垢剂添加装置、第一保安过滤器、一级高压泵,后置活性炭装置和二级反渗透装置间连接有保安过滤器和二级高压泵,二级反渗透装置和电去离子装置间连接有纯水箱和纯水泵,电去离子装置后连接有终端滤器和超纯水箱。本实用新型装置稳定运行,具有简单、高效、稳定、低成本的优势,可广泛用于大量使用超纯水的电子、半导体等工业的废水处理以及城市中水回用为电厂锅炉补给水的废水处理。