简介： 本发明公开了一种废水循环回用为工业超纯水的处理工艺,包括如下步骤:预处理、前置活性炭吸附、一级反渗透、后置活性炭吸附、二级反渗透和电去离子。反渗透后置活性炭吸附饱和以后可以通过简单操作重复用于前置活性炭吸附。本发明可将富含有机清洗剂、重金属离子的废水处理成为TOC合格的超纯水,并保证设备稳定运行,具有简单、高效、稳定、低成本的优势,水回用率达60%以上,可广泛用于大量使用超纯水的电子、半导体等工业的废水处理以及城市中水回用为电厂锅炉补给水的废水处理。