简介： 一种硅烷气体的制备方法,它涉及一种电子气体的制备方法。本发明解决了现有制备硅烷气体的工艺中催化速率难控制、催化剂加料困难、回收难度大,以及在三烷氧基硅烷的制备过程中硅铜触体生产率低、反应活性低,催化剂遇水易失效、产物易水解,及醇利用率低的问题。本发明的制备方法是:一、利用硅粉和醇制备三烷氧基硅烷;二、制备催化缓释剂;三、采用步骤一的三烷氧基硅烷,在催化缓释剂的作用下反应制备得到硅烷气体。本发明制备三烷氧基硅烷的选择性达到95%,转化率为90%;本发明中三烷氧基硅烷的分解率为99.8%,硅烷产率为90～93%,纯度为99%,硅烷可用于制造非晶硅薄膜太阳能电池及LED、LCD行业。