高温超纳米压痕测试仪 (UNHT3 HTV)

全球**台真正意义的商品化的高温高真空超纳米压痕仪，主要测量小载荷下纳米尺度机械性能的测试系统，温度在 800 °C 以下的薄膜和涂层的硬度和弹性模量。** UNHT3技术与独特的加热功能结合，可提供在任何温度下的高稳定性测量解决方案。

主要特点新一代的高温纳米压痕测试仪

环境条件下*低热漂移 (< 0.5 nm/min) 和整个温度范围内*低热漂移 (< 3 nm/min)。

**载荷框架刚度 (>>106 N/m) 和*低框架柔度 (<<0.1 nm/mN)：两套独立的位移和载荷传感器与高精度电容传感器结合，可选择“控制位移”和“载荷控制”模式。

高真空系统具有 5 轴磁悬浮涡轮泵和缓冲系统，允许在测量期间关闭初级泵，使振动降至*低。

独特的加热控制系统（3 项**待批），采用3 个红外 (IR) 加热器分别用于给压痕针尖、参比针尖和样品进行加热，以及 4 个热电偶用于将样品表面温度控制到 变化在0.1°C 内。

符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 国际标准

技术指标

载荷
**载荷	100 mN
载荷分辨率	6 nN
本底噪音	0.5 [rms] [μN]*
位移
**位移	100 μm
位移分辨率	0.006 nm
本底噪音	0.15 [rms] [nm]*
极限真空度	10?mBar
**温度	800 °C