XPS-7 半导体材料气体多气体检测仪
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XPS-7 半导体材料气体多气体检测仪
来源:深圳瑞安电子科技有限公司
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简介: 测量范围根据规格
产品详细
XPS-7 半导体材料气体

特点:只要更换传感器单元就可以检测各种对象气体。 用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正。可以大幅度削减成本和维护时间。

型 号

XPS-7

检测原理

定电位电解式

检测气体对象

半导体材料气体

测量范围

根据规格

分解 能

全量程的百分之一表示

指示精度

FS±10%以内

报警模式

2段报警方式

报警方式

蜂鸣器(断续音)、报警灯闪烁

应答时间

60秒以内(60%应答)

电 源

5号碱性干电池4节或AC专用变压器

电池使用时间

连续12小时以上(使用碱性干电池无报警、20℃时)

外型尺寸

W62×H150×D128mm(突出部分除外)

检测方式

泵吸引式

使用温度范围

0℃~40℃

重 量

约1.3kg

附 件

肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤纸2张

选购 件

AC专用变压器、传感器专用通电台、数据收集配套元件

检测气体一览表:
对象气体一览表
型号

气体

F.S

型号

气体

F.S

型号

气体

F.S

XDS-7NH

NH3

100ppm

XDS-7GH

GeH4

1ppm

XDS-7HS

H2S

50ppm

XDS-7SH

SiH4

25ppm

XDS-7CL

CL2

5ppm

XDS-7CO

CO

250ppm

XDS-7DC

SiH2CL2

25ppm

XDS-7CF

CLF3

1ppm

XDS-7DS

Si2H6

25ppm

XDS-7AH

AsH3

250ppb

XDS-7HC

HCL

25ppm

XDS-7F2

F2

5ppm

XDS-7PH

PH3

1ppm

XDS-7HF

HF

10ppm

XDS-7OZ

O3

1ppm

XDS-7BH

B2H6

500ppb

XDS-7HB

HBr

10ppm

XDS-7SE

H2Se

250ppb

XDS-7NO

NO

100ppm



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标签:多气体检测仪,半导体材料气体
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