LIBSOPA实现了一维线性扫描、一维深度分析和二维面扫描分析，用统计解析的方法定量表征材料的偏析度、疏松度、夹杂物分布、表面和内部缺陷分析等指标。LIBSOPA为材料成分分析 、 缺陷分析 、涂镀层分析等 提供了新的技术手段及质量判据 。

仪器特点：

非接触、微区、深度分析；兼具原位统计分布分析功能；分析空间分辨率150-400μm

仪器参数：

一.激发光源激光器：灯泵固体激光器输出波长：1064 nm脉冲频率：1~10Hz可调

二.双视场成像：全景视场：100mm*100mm微区视场：8mm*8mm

三.移动扫描系统：移动分辨率：1μm行程：80mm*80mm

四.剥蚀光斑 ：软件自动调节尺寸：150μm ~400μm

五. 分光系统：巴邢—龙格架法，光栅焦距750 mm高发光全息光栅，刻线为2400条/mm谱线范围：170~800nm分辨率：优于0.01nm惰性气体密闭样品仓可检测短波元素（C,P,S,B）