电子级硫酸
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电子级硫酸
来源:安阳市岷山有色金属有限责任公司
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简介: 公司有电子级硫酸产品,EL级、UP级、UP-S级、UP-SS电子酸,其中EL级0.8万吨/年,UP-S级2万吨/年。电子级硫酸属于超高纯试剂,是微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础试剂,广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程中硅晶片的清洗和蚀刻,可有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。国内电子级化学品行业分4个等级的行业标准,分别是EL、UP、UP-S、UP-SS级别。
工作原理 技术参数 选型原则 应用案例 设备结构
公司有电子级硫酸产品,EL级、UP级、UP-S级、UP-SS电子酸,其中EL级0.8万吨/年,UP-S级2万吨/年。
电子级硫酸属于超高纯试剂,是微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础试剂,广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程中硅晶片的清洗和蚀刻,可有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。
国内电子级化学品行业分4个等级的行业标准,分别是EL、UP、UP-S、UP-SS级别。
EL级金属杂质含量小于100PPB,控制1微米粒径粒子,达到SEMIC1,C2标准,适合中小规模集成电路及电子元器件加工工艺。
UP级:适用
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