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电子级硫酸

来源：安阳市岷山有色金属有限责任公司
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简介： 公司有电子级硫酸产品，EL级、UP级、UP-S级、UP-SS电子酸，其中EL级0.8万吨/年，UP-S级2万吨/年。电子级硫酸属于超高纯试剂，是微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础试剂，广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程中硅晶片的清洗和蚀刻，可有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。国内电子级化学品行业分4个等级的行业标准，分别是EL、UP、UP-S、UP-SS级别。

工作原理技术参数选型原则应用案例设备结构

公司有电子级硫酸产品，EL级、UP级、UP-S级、UP-SS电子酸，其中EL级0.8万吨/年，UP-S级2万吨/年。
电子级硫酸属于超高纯试剂，是微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础试剂，广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程中硅晶片的清洗和蚀刻，可有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。
国内电子级化学品行业分4个等级的行业标准，分别是EL、UP、UP-S、UP-SS级别。
EL级金属杂质含量小于100PPB，控制1微米粒径粒子，达到SEMIC1，C2标准，适合中小规模集成电路及电子元器件加工工艺。
UP级：适用