简介： Filmetrics的薄膜电阻测量设备开发源自于有着超过30年经验的KLA的薄膜电阻计量技术，并由20年台式测量设备开发经验的Filmetrics团队完善了桌面式方块电阻测量产品。KLA薄膜电阻测量技术包括接触（4PP）和非接触（EC）方法。Filmetrics的R50系列方块电阻测量仪器可测量沉积在多种基材上的导电片和薄膜，跨越10个数量级范围电阻率，包括：半导体晶圆基板、玻璃基板、塑料（柔性）基材、PCB图案特征、太阳能电池、平板显示层和图案化特征、金属箔